玻璃基板是平板顯示的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料之一，為了達(dá)到玻璃基板清洗用水要求，需要選用不含有任何離子雜質(zhì)的超純水進(jìn)行處理，采用反滲透技術(shù)和EDI技術(shù)相結(jié)合，有效去除原水中的各種雜質(zhì)，出水電阻率可以達(dá)到18兆歐以上。

　　玻璃基板超純水設(shè)備工藝流程

　　原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

　　玻璃基板超純水設(shè)備優(yōu)點

　　1、出水水質(zhì)具有穩(wěn)定度。

　　2、能連續(xù)生產(chǎn)出符合用戶要求的超純水。

　　3、模塊化生產(chǎn)，并可實現(xiàn)PLC全自動控制。

　　4、不需酸堿再生，無污水排放。

　　5、不會因再生而停機(jī)。

　　以上是玻璃基板超純水設(shè)備的簡單介紹。